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华为/海思半导体特气项目

合作时间：2013年

预算金额：390万元

气体种类：压缩干燥空气（CDA）、高纯氮（PN2）、高纯氢气（PH2）、真空（Vac）、氩气 (Ar) 、氦气 (He)管道系统；特气系统包括硅烷（SiH4）、5%硅烷（5%SiH4）、 氨气（NH₃）、氯气（Cl₂）、磷化氢（PH3）、砷化氢(AsH3)、锗烷(GeH4)、乙硼烷（B2H6）、一氧化二氮（N2O）、四氟化碳（CF4）、三氟甲烷(CHF3)


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